Ako vypočítať nesprávneho vyrovnanie v anizotropnom leptanie

Identifikačné nesúlad - alebo nesúlad buniek - v anizotropnom leptaním vyžaduje metódu výpočtu s názvom " Korekcia času . " Toto môže byť videné , keď sa rieši algoritmus používaný pri simulácii lepacej proces kremíka EDP ​​, KOH alebo TMAH riešenie . Je-li použitá metóda Bunkové automaty ( CA ) pre simuláciu leptanie , substrát je reprezentovaný jednotlivých buniek , ktoré sú obsiahnuté vo vnútri kryštalickej priehradová konštrukcia . Pokyny dovolená 1

Napíš rovnicu pre určenie počtu etch krokov . Toto je vyjadrené ako N ( t ) = [ M /E ( s ) T ] t Predvolená hodnota 1 sa používa pre T. hodnota M je násobkom E ( s ) T. Hodnota E ( y ) je [ 0,1 ] .
2

Napíš rovnicu pre určenie ekvivalentu etch povrchového materiálu . To je vyjadrené ako : .

E ( y ) = M /N ( t ) T = M /( M /E ( y ) T ) T = E ( y )

M nie je násobkom E ( s ) T , potom nesúlad dôjde , pretože leptanie ďalšie bunky nespustí ihneď .
3

Poznačte si pre " K " , ktorý sa používa na identifikáciu krok etch . Ďalšie leptanie krokom v tomto procese je označený ako k + 1. . Poznámka časový rovnováhu na krok leptanie ako Tb ( k ) .
4

Napíš rovnicu použitú pri výpočte náhrady času . Táto rovnica je vyjadrená ako : Autor

M ( k )> E ( s ) ( T + Tb ( k - 1 )

potom

T ( k ) = T + Tb ( k - 1 )

M ( k +1 ) = M ( k ) - E ( y ) T ( k )

Tb ( k ) = 0

iného

T ( k ) = M ( k ) /E ( y )

M ( k +1 ) = 0

Tb ( k ) = T - T ( k )

Konečným výsledkom tejto metódy výsledkov kompenzačných čas v rovnici , ktorá je vyjadrená ako :

E ( y ) = M ( k ) /T ( k ) = E ( y ) pre etch kroku k