Otvorte rozprašovací systém . Zložte rozprašovacia pištoľ kryt a odskrutkujte krúžok , ktorý drží svoj cieľ naprašovacího na mieste . Umiestnite cieľ oxidu kovový na rozprašovacia pištoľ a zaskrutkujte cieľovú krúžok s presným skrutkovačom . Vymeňte elektródu pištole štít . Umiestnite plastový substrát do držiaka substrátu . Zatvorte rozprašovanie systému .
2
Čerpadlo rozprašovanie systém sa na vhodnom tlaku nastavenie , ako 10 ^ -6 millibars . Uistite sa , že klapka je uzavretá , takže substrát nie je vystavená výpovede až do potrebnej . Zaviesť systém je argón plynu do komory , až kým sa nedosiahne tlaku asi 5 milibarov .
3
Zapnite frekvencie napájanie rádia . Počkajte , kým sa viditeľná plazma môže byť videný v rozprašovacej komory . Otvorte clonu . Plastový substrát je teraz vystavený depozícia molekúl oxidu kovu . Zatvorte závierku , ak boli získané požadovanej hrúbky .