DIY RF Spojovacie Plasma

Atómy sa skladajú z kladne nabité jadro obklopené mrakom záporne nabitých elektrónov . Niekedy atómy môžu získať alebo stratiť elektróny , čo vedie k ich získaniu čistý kladný alebo záporný náboj . Atóm s nábojom je známy ako ión . Plazma je oblak iónov , a to môže mať celý rad využitie v spracovateľskom priemysle polovodičové . Plazma môže byť produkovaný vnútri vákuovej Argón - naplnené komore pomocou napájací zdroj , ktorý generuje rádiovej frekvencii ( RF ) radiation.Things budete potrebovať klipart RF vákuovej komory s Argon hmotnostného prietoku regulátorom
Rotačné čerpadlo
turbo čerpadlo
RF napájanie
zodpovedajúce siete RF
2 RF káblov
Zobraziť ďalšie inštrukcie Cestuj 1

Zapnite rotačným čerpadlom a čakať na tlaku na dostať na 10 ^ -3 mbar . Zapnite turbo čerpadlo , a čakať na to rozbehnúť . Počkajte , kým tlaku približne 10 ^ -6 millibar je dosiahnuté .
2

Pripojte RF kábel medzi RF zodpovedajúce jednotky a RF napájanie . Pripojte ďalší kábel medzi RF zodpovedajúce jednotky a vákuovej komory zásuvky elektródy RF .
3

čiastočne uzavrieť ventil na turbo čerpadlo . Zapnite Argon regulátora hmotnostného prietoku , a nastavte tlak 15 mbar . Zapnite RF napájanie a zodpovedajúce jednotky . Nastaviť vpred silu 50 wattov . Zodpovedajúce jednotka je počuť ako sa snaží minimalizovať odráža RF výkon . Keď sa odráža sila je menšia ako 1 percento z prednej moci , zvýšenie predné silu asi 150 wattov . Plasma vnútri komory by sa mala rozsvietiť , a musí byť viditeľné aj keď komora view - portu . Pomaly znížiť dopredu moc späť do 50 wattov . RF pár plazma je vytvorený .